日本KAIJO晶圓級凸塊鍵合機FB-x26凹凸1
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FB-x26凹凸1
FB-x26凹凸1
支持高達 6 英寸的晶圓(載波傳輸)
通過料庫自動送入晶圓
可追溯性和自診斷升級
主要規格
粘接性能 | 粘接精度(不包括自學精度 ) | 3σ≦3.0微米 |
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粘接范圍 | 4英寸晶圓:直徑 95mm 6英寸晶圓:直徑145mm |
生產力 | 粘合時間 | 30毫秒/碰撞(藥丸切割模式) 40毫秒/碰撞(固定切割模式)
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兼容的運輸系統 | 晶圓尺寸 | *大 6 英寸 |
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輸送方式 | 使用載帶自動輸送 |
雜志 | 寬度:176毫米 長度:180毫米或200毫米高度:170毫米
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其他 | 外部尺寸 | 寬1,292×深1,240×高1,728毫米 |
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重量 | 550公斤 |