日本KAIJO晶圓級凸塊鍵合機FB-x26凹凸2
FB-x26凹凸2
主要規格
粘接性能 | 粘接精度(不包括自學精度 ) | ±3.0微米(3σ) |
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粘接范圍 | *大 200 mm(8 英寸)(手動安裝規格) 自動傳輸規格的晶圓外周長出鍵合范圍 2.5 mm 示例)
8 英寸:周長直徑為 195 mm 是粘合范圍
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生產力 | 粘合時間 | 30毫秒/碰撞(藥丸切割模式)40毫秒/碰撞(固定切割模式)
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兼容的運輸系統 | 晶圓尺寸 | 高達 8 英寸 |
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輸送方式 | 半自動運輸(手動運輸) *可與WHS-996結合使用進行全自動運輸 |
其他 | 外部尺寸 | FB-x26凹凸2 : 寬930×深1,240×高1,728mm WHS-996 : 寬680×深1,190.5×高1,424 |
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重量 | FB-x26顛簸2:520公斤 WHS-996:300公斤 |