KURABO久保田紅外線液體成分濃度計
Chemicalyzer*適合對半導體或液晶制造工程的清洗液, 浸蝕液, 抗蝕剝離液進行濃度管理。
該濃度計通過紅外線實現了高穩定性, 擴大了應用范圍, 給生產工序的濃度測定提供了很大的潛能。
本公司設有聯機型, 脫機手推型, 多槽測定控制型, 混合型, 可根據用途進行選定。
各個機型待測藥液一覽表
待測藥液 | 適用藥液類別 |
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各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA, 稀薄SC-2 |
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浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH HF-HNO-Si,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
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CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
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液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH, 銅-H2O2-酸 |
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高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
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有機剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
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臭氧處理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |
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