日本USHIO牛尾 高壓水銀燈USH-2004MB
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特征
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適合曝光制程的紫外線波長
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在紫外線波長中,USHIO的高壓水銀燈仍可有效運用3線(436nm?405nm?365nm)波長,
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是長效型、且具有穩定放射照度的高亮度光源。
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發揮光學系性能的點狀光源
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弧形大小極接近點狀光源,易于集中與擴散光學系統上的光,因此可以得到均勻的照度分布。
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配合半導體、液晶?彩色濾光片?PDP以及印刷基板用線路成形等各種用途的燈輸出
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因應回路與類型燒付照度需求的提高、
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小型(100w級)~大型(35kw級)為止、適用各尺寸的燈具。
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發揮現有設備性能的高照度
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因應現有設備Throughput提高的需求、即使僅使用高照度燈、亦可望確實提高產能。
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※部分設備商產品則必須實施設備改造。
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對應需求波長的燈具開發
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配合顧客新設備的開發,開發出合適的燈具。詳情請洽詢。
紫外線壽命特性
主要數據資料
分光分布(高壓水銀燈)
分光分布(Deep 水銀燈)
主要用途
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半導體回路形成用光源
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液晶回路形成用光源
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彩色濾光片回路形成用光源
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電漿顯示器回路形成用光源
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印刷電路板回路形成用光源
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MEMS回路形成用光源
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檢查用光源
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其他新的曝光用途等