日本USHIO牛尾UV固化照射裝置
適用于TFT-LCD液晶面板的貼合工藝,將液晶面板貼合所用的Seal材料,通過UV紫外線的照射在較短時間內進行固化,從而起到了提高生產效率,降低生產成本的效果。
特征:
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高均一性照射
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由于基板問題變化而產生的變色減少。
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省略了周邊四角的曝光
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Tack時間短
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利用光學Filter對光的控制技術,
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受損情況小,低溫處理
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Mask對位機能
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能夠和Pattern進行精度較高的對位,
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有效的曝光技術進行展開。
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系統構成
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設備本體
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電源,控制面板
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循環冷卻Unit(Lamp冷卻用)
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Mask Work冷卻用冷氣機
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ODF設備(UV Curing)的構造
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照射部
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Stage部
主要用途: