日本USHIO牛尾紫外線光阻劑硬化/CHARGE ERASE裝置φ12寸
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紫外線照射裝置,在LSI制造生產聯機使用的紫外線阻劑固化、及電荷消除裝置。
配備高壓UV燈與EXCIMER燈,應用在提升乾蝕刻時的耐電漿性、離子注入時的阻劑脫氣與燒制、電荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各種用途。
特征:
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高照度、均一度照射
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初期照度是650mw/cm2以上(220~320nm)、且照度均勻度保證在±10%。
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采用依據SEMI規定之裝載接口的EFEM(φ12寸裝置)
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φ12寸用裝置、采用裝載接口(依據SEMI) 的EFEM、
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以及搬運系統 采用無塵快速的2Finger搬運機器人、以達到高Throughput。
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采用WindowsNT PC的高操作性與以GEM300為準(φ12寸裝置)
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φ12寸用裝置采用Windows NT PC,達到**的操作性。亦符合GEM300規定。
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燈管裝置更換容易
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燈管更換時無須調整,并降低裝置的停機時間。
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配備照度一定方式與積累計算曝光方式(φ12寸裝置:選購配備)
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使用照度一定方式、并積累計算曝光方式、達到制程的穩定化與一致化。
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豐富的產品系列
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對應φ6寸用裝置(可與φ5寸以下共用)、φ8寸用裝置( 可與φ6寸以下共用)、
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以及φ12寸裝置等所有工具匣。此外,亦備有準分子(Excimer)燈的φ8寸用裝置。
2Finger搬運機器人
燈光裝置
主要用途: