桌上型表面處理裝置其主要原理為紫外線燈發出的185nm波長和254nm波長具有很高的能量,高于大多數有機物的結合能量。
由于大多數碳氫化合物對185nm波長的紫外線具有較強的吸收能力,并且可以在吸收185nm波長后分解成離子,流離態原子,受激分子和中子等,這就是光敏作用。
空氣中的氧分子在吸收了185nm波長的紫外光后,會產生臭氧和氧氣,臭氧對254nm波長具有很強的吸收性,臭氧有可以分解為氧原子和氧氣。
氧原子具有極強的氧化性,可以將碳氫化合鍵切斷,生成水和二氧化碳等易揮發氣體,從被照射物表面飄逸出,清除物體表面的污染物。